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文献
J-GLOBAL ID：201702223276113323
整理番号：17A1570307
ゲート汚染の電子刺激脱離により誘起されたSpindt型電界放出チップのスパッタリング【Powered by NICT】
Sputtering of Spindt-type field emission tip induced by electron stimulated desorption of gate contaminations
Zheng Tao
(Materials Science Department, University of Texas at Dallas, Richardson, Texas, USA 75080)
,
Zhang Bo
(Materials Science Department, University of Texas at Dallas, Richardson, Texas, USA 75080)
,
Gnade Bruce
(Lyle school of Engineering, Southern Methodist University, Dallas, Texas, USA 75275)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： IVNC ページ： 24-25 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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