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文献
J-GLOBAL ID：201702223433151930
整理番号：17A0406825
自立CVDダイヤモンドのY_2O_3反射防止膜の結晶構造と特性に及ぼす酸素へのアルゴン比の影響【Powered by NICT】
Effects of oxygen-to-argon ratio on crystalline structure and properties of Y2O3 anti-reflection films for freestanding CVD diamond
Hua Chenyi
(Institute for Advanced Materials and Technology, University of Science and Technology Beijing, Beijing, 100083, China)
,
Chen Liangxian
(Institute for Advanced Materials and Technology, University of Science and Technology Beijing, Beijing, 100083, China)
,
Li Chengming
(Institute for Advanced Materials and Technology, University of Science and Technology Beijing, Beijing, 100083, China)
,
Wang Meng
(Institute for Advanced Materials and Technology, University of Science and Technology Beijing, Beijing, 100083, China)
,
Guo Jianchao
(Institute for Advanced Materials and Technology, University of Science and Technology Beijing, Beijing, 100083, China)
,
Liu Jinlong
(Institute for Advanced Materials and Technology, University of Science and Technology Beijing, Beijing, 100083, China)
,
Yan Xiongbo
(Institute for Advanced Materials and Technology, University of Science and Technology Beijing, Beijing, 100083, China)
,
Zhao Yun
(Institute for Advanced Materials and Technology, University of Science and Technology Beijing, Beijing, 100083, China)
,
An Kang
(Institute for Advanced Materials and Technology, University of Science and Technology Beijing, Beijing, 100083, China)
,
Wei Junjun
(Institute for Advanced Materials and Technology, University of Science and Technology Beijing, Beijing, 100083, China)
,
Hei Lifu
(Institute for Advanced Materials and Technology, University of Science and Technology Beijing, Beijing, 100083, China)
資料名：
Journal of Alloys and Compounds
(Journal of Alloys and Compounds)
巻： 693 ページ： 468-473 発行年： 2017年
JST資料番号： D0083A ISSN： 0925-8388 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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