文献
J-GLOBAL ID:201702223897171587
整理番号:17A0471306
五酸化タンタルの単原子とクラスタのアルゴンイオンスパッタリングのXPSによる研究【Powered by NICT】
XPS investigation of monatomic and cluster argon ion sputtering of tantalum pentoxide
著者 (5件):
Simpson Robin
(The Surface Analysis Laboratory, Department of Mechanical Engineering Sciences, University of Surrey, United Kingdom)
,
Simpson Robin
(Thermo Scientific, East Grinstead, United Kingdom)
,
White Richard G.
(Thermo Scientific, East Grinstead, United Kingdom)
,
Watts John F.
(The Surface Analysis Laboratory, Department of Mechanical Engineering Sciences, University of Surrey, United Kingdom)
,
Baker Mark A.
(The Surface Analysis Laboratory, Department of Mechanical Engineering Sciences, University of Surrey, United Kingdom)
資料名:
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻:
405
ページ:
79-87
発行年:
2017年
JST資料番号:
B0707B
ISSN:
0169-4332
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)