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文献
J-GLOBAL ID：201702224200684492
整理番号：17A1273964
最適化に基づく逆有限要素解析を用いたILD積層における金属薄膜の降伏強さの推定【Powered by NICT】
Estimating the yield strength of metal films in ILD stacks using optimization-based inverse finite element analysis
Chen Chun-Pei
(School of Mechanical Engineering, Purdue University, West Lafayette, IN 47907, USA)
,
Subbarayan Ganesh
(School of Mechanical Engineering, Purdue University, West Lafayette, IN 47907, USA)
,
Lin Hung-Yun
(Texas Instruments Inc., Dallas, TX 75243, USA)
,
Gurrum Siva
(Texas Instruments Inc., Dallas, TX 75243, USA)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： ITherm ページ： 1409-1415 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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