文献
J-GLOBAL ID:201702224498466353
整理番号:17A0212800
機械学習誘導エッチ近接効果補正【Powered by NICT】
Machine Learning-Guided Etch Proximity Correction
著者 (2件):
Shim Seongbo
(Department of Electrical Engineering, KAIST, Daejeon, South Korea)
,
Shin Youngsoo
(Department of Electrical Engineering, KAIST, Daejeon, South Korea)
資料名:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
(IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing)
巻:
30
号:
1
ページ:
1-7
発行年:
2017年
JST資料番号:
T0521A
ISSN:
0894-6507
CODEN:
ITSMED
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)