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文献
J-GLOBAL ID：201702224809177932
整理番号：17A0547880
ミストCVD法による酸化亜鉛薄膜の低温形成と評価
御厨丈輝
(熊本大 大学院)
,
小川寛高
(熊本大 大学院)
,
城戸智孝
(熊本大 大学院)
,
谷田部然治
(熊大 院 先導機構)
,
西康孝
(ニコン)
,
中積誠
(ニコン)
,
岩堀恒一郎
(ニコン)
,
奈良圭
(ニコン)
,
浪平隆男
(熊大 パルスパワー研)
,
中村有水
(熊本大 大学院)
,
中村有水
(熊本有機薄膜)
資料名：
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 64th ページ： ROMBUNNO.14p-502-15 発行年： 2017年03月01日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2436-7613 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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