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文献
J-GLOBAL ID：201702224969857468
整理番号：17A0795991
グラフェンベースMEMS ICPピエゾ抵抗圧力センサの残留応力【Powered by NICT】
Residual stress of graphene-based MEMS ICP piezoresistive pressure sensors
Abd Rahman Siti Hajar
(Faculty of Engineering, University of Malaya, Kuala Lumpur, Malaysia)
,
Soin Norhayati
(Faculty of Engineering, University of Malaya, Kuala Lumpur, Malaysia)
,
Ibrahim Fatimah
(Faculty of Engineering, University of Malaya, Kuala Lumpur, Malaysia)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016 号： BioSMART ページ： 1-4 発行年： 2016年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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