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文献
J-GLOBAL ID:201702225221290091   整理番号:17A0579463

陽極酸化処理によって作製されたフローティングシリコンワイヤの形状制御

Shape Control of Floating Si Wires Fabricated by Anodization
著者 (6件):
MOTOHASHI Mitsuya
(Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN)
IMAIZUMI Takuya
(Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN)
TAGUCHI Takatoshi
(Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN)
SUZUKI Toshiaki
(JEOL, Tokyo, JPN)
YOSHINO Takayuki
(Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN)
NIWA Masaaki
(Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN)

資料名:
材料の科学と工学  (Materials Science and Technology of Japan)

巻: 54  号:ページ: 65-69  発行年: 2017年04月20日 
JST資料番号: G0788A  ISSN: 1347-4774  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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