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文献
J-GLOBAL ID：201702225221290091
整理番号：17A0579463
陽極酸化処理によって作製されたフローティングシリコンワイヤの形状制御
Shape Control of Floating Si Wires Fabricated by Anodization
MOTOHASHI Mitsuya
(Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN)
,
IMAIZUMI Takuya
(Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN)
,
TAGUCHI Takatoshi
(Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN)
,
SUZUKI Toshiaki
(JEOL, Tokyo, JPN)
,
YOSHINO Takayuki
(Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN)
,
NIWA Masaaki
(Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN)
資料名：
材料の科学と工学
(Materials Science and Technology of Japan)
巻： 54 号： 2 ページ： 65-69 発行年： 2017年04月20日
JST資料番号： G0788A ISSN： 1347-4774 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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