文献
J-GLOBAL ID:201702225278469613
整理番号:17A0618678
反応性高出力パルスマグネトロンスパッタリングにおけるイオンエネルギー分布に及ぼす窒素混合物のアルゴンへの影響
Influence of nitrogen admixture to argon on the ion energy distribution in reactive high power pulsed magnetron sputtering of chromium
著者 (4件):
BREILMANN W
(Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU)
,
MASZL C
(Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU)
,
HECIMOVIC A
(Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU)
,
KEUDELL A von
(Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU)
資料名:
Journal of Physics. D. Applied Physics
(Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻:
50
号:
13
ページ:
135203,1-12
発行年:
2017年04月05日
JST資料番号:
B0092B
ISSN:
0022-3727
CODEN:
JPAPBE
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)