文献
J-GLOBAL ID:201702225357431539
整理番号:17A0502588
異方性ウェットエッチングにより作製された25nm単結晶シリコンナノワイヤ
25 nm Single-Crystal Silicon Nanowires Fabricated by Anisotropic Wet Etching
著者 (4件):
CHU Hoang Manh
(Hanoi Univ. Sci. and Technol., Hanoi, VNM)
,
NGUYEN Minh Van
(Hanoi Univ. Sci. and Technol., Hanoi, VNM)
,
VU Hung Ngoc
(Hanoi Univ. Sci. and Technol., Hanoi, VNM)
,
HANE Kazuhiro
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名:
Journal of Nanoscience and Nanotechnology
(Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻:
17
号:
2
ページ:
1525-1529
発行年:
2017年02月
JST資料番号:
W1351A
ISSN:
1533-4880
CODEN:
JNNOAR
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)