文献
J-GLOBAL ID:201702225397430830
整理番号:17A0890286
平面回折格子迷光測定のための広帯域可変開口の高分解能散乱計の検討
Study on a wideband, variable aperture, high resolution scatterometer for planar diffraction grating stray light measurement
著者 (8件):
YANG Jin
(Changchun Inst. of Optics and Fine Mechanics and Physics, Chinese Acad. of Sci., Jilin, CHN)
,
YANG Jin
(Univ. Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN)
,
ZHANG Rui
(Changchun Inst. of Optics and Fine Mechanics and Physics, Chinese Acad. of Sci., Jilin, CHN)
,
ZHANG Rui
(Univ. Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN)
,
YIN Lu
(Changchun Inst. of Optics and Fine Mechanics and Physics, Chinese Acad. of Sci., Jilin, CHN)
,
YIN Lu
(Univ. Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN)
,
SUN Ci
(Changchun Inst. of Optics and Fine Mechanics and Physics, Chinese Acad. of Sci., Jilin, CHN)
,
LI Tianjiao
(Changchun Inst. of Optics and Fine Mechanics and Physics, Chinese Acad. of Sci., Jilin, CHN)
資料名:
Applied Optics
(Applied Optics)
巻:
56
号:
2
ページ:
247-255
発行年:
2017年01月10日
JST資料番号:
B0026B
ISSN:
1559-128X
CODEN:
APOPAI
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)