文献
J-GLOBAL ID:201702225638894034
整理番号:17A0616965
プラズマCVDチャンバクリーニングのウェット-サーマル-ウェット低減を用いる場合におけるエネルギー消費低減とペルフルオロ化合物排出制御
Energy consumption reduction and PFC Emissions control in Point of Use wet-thermal-wet Abatement of PECVD chamber cleaning
著者 (7件):
HU Shih-Cheng
(National Taipei Univ. Technol., TWN)
,
CHEN Andy
(National Taipei Univ. Technol., TWN)
,
LIN Ti
(National Taipei Univ. Technol., TWN)
,
SHIUE Angus
(National Taipei Univ. Technol., TWN)
,
TSENG Wei-Ting
(Wholetech System Hi-tech Ltd.)
,
HSIEH Hing
(Wholetech System Hi-tech Ltd.)
,
FAN Wen-Sheng
(Wholetech System Hi-tech Ltd.)
資料名:
空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集
(空気清浄とコンタミネーションコントロール研究に関する技術研究大会予稿集)
巻:
34th
ページ:
153-156
発行年:
2017年
JST資料番号:
Y0789A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)