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文献
J-GLOBAL ID：201702225827542270
整理番号：17A1721420
先端技術ノードのプロセス開発のためのサブデザインルール短絡の検出【Powered by NICT】
Detection of Sub-Design Rule Shorts for Process Development in Advanced Technology Nodes
Lei Ming
(GLOBALFOUNDRIES, Malta, NY, USA)
,
Wu Kevin T.
(CFM, GLOBALFOUNDRIES, Malta, NY, USA)
資料名：
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
(IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing)
巻： 30 号： 4 ページ： 418-425 発行年： 2017年
JST資料番号： T0521A ISSN： 0894-6507 CODEN： ITSMED 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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