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文献
J-GLOBAL ID：201702225976458116
整理番号：17A0381623
集中整合容量による炭化けい素差動出力圧力センサ【Powered by NICT】
A silicon carbide differential output pressure sensor by concentrically matched capacitance
Beker Levent
(Mechanical Engineering, University of California, Berkeley, CA, USA)
,
Maralani Ayden
(Mechanical and Aerospace Engineering, University of California, San Diego, CA, USA)
,
Lin Liwei
(Mechanical Engineering, University of California, Berkeley, CA, USA)
,
Pisano Albert P.
(Mechanical and Aerospace Engineering, University of California, San Diego, CA, USA)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： MEMS ページ： 981-984 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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