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文献
J-GLOBAL ID：201702226117160641
整理番号：17A0547596
スパッタ法で作製されたMoS2薄膜のRHEEDと光電子分光による評価
米田允俊
(奈良先端科学技術大学院大)
,
武田さくら
(奈良先端科学技術大学院大)
,
田口宗孝
(奈良先端科学技術大学院大)
,
松田博之
(奈良先端科学技術大学院大)
,
大橋匠
(東京工大)
,
清水淳一
(東京工大)
,
ANG Artoni Kevin Roquero
(奈良先端科学技術大学院大)
,
橋本由介
(奈良先端科学技術大学院大)
,
深見駿
(奈良先端科学技術大学院大)
,
田中一光
(奈良先端科学技術大学院大)
,
岡本隆志
(奈良先端科学技術大学院大)
,
江波戸達哉
(奈良先端科学技術大学院大)
,
大門寛
(奈良先端科学技術大学院大)
,
若林整
(東京工大)
,
木下豊彦
(JASRI)
資料名：
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 64th ページ： ROMBUNNO.14p-213-4 発行年： 2017年03月01日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2436-7613 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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