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文献
J-GLOBAL ID：201702226586808743
整理番号：17A1258605
光波散乱計測モデル参照のためのTMUに基づく解析の実際的側面【Powered by NICT】
Practical aspects of TMU based analysis for scatterometry model referencing
Hartig Carsten
(GLOBALFOUNDRIES, United States of America)
,
Urbanowicz Adam M.
(NOVA EU, Dresden, Germany)
,
Vaid Alok
(GLOBALFOUNDRIES, Malta, NY, US)
,
Ebersbach Peter
(GLOBALFOUNDRIES, United States of America)
,
Fischer Daniel
(GLOBALFOUNDRIES, United States of America)
,
Melzer Robert
(GLOBALFOUNDRIES, United States of America)
,
Sanchez Francisco
(NOVA EU, Dresden, Germany)
,
Mezerette David
(NOVA US, San Jose, CA, USA)
,
Katz Yinon
(NOVA HQ, Rehovot, Israel)
,
Sendelbach Matthew
(NOVA US, San Jose, CA, USA)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： MIPRO ページ： 34-39 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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