文献
J-GLOBAL ID:201702226787477168
整理番号:17A1102565
多結晶シリコンウェハーのレーザテクスチャのための異方性エッチング
Anisotropic etching for laser texturing of multicrystalline silicon wafer
著者 (3件):
HA Seung Hyun
(Gachon Univ., Gyeonggi-do, KOR)
,
KIM Ji Hyeon
(Gachon Univ., Gyeonggi-do, KOR)
,
PARK Sang Joon
(Gachon Univ., Gyeonggi-do, KOR)
資料名:
Molecular Crystals and Liquid Crystals
(Molecular Crystals and Liquid Crystals)
巻:
645
ページ:
497-504
発行年:
2017年
JST資料番号:
B0877A
ISSN:
1542-1406
CODEN:
MCLCE9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)