文献
J-GLOBAL ID:201702227045307780
整理番号:17A0591498
異なるN2/Ar比の下におけるRF-スパッタリング法で蒸着した窒化インジウム層の形態と光学特性
Morphology and Optical Properties of RF Sputtering Deposited Indium Nitride Layers Under Different N2/Ar Ratio
著者 (5件):
LI Hai-Zhu
(Henan Univ., Kaifeng, CHN)
,
LI Ruo-Ping
(Henan Univ., Kaifeng, CHN)
,
LIU Jun-Hui
(Henan Univ., Kaifeng, CHN)
,
HAN Jun-He
(Henan Univ., Kaifeng, CHN)
,
HUANG Ming-Ju
(Henan Univ., Kaifeng, CHN)
資料名:
Journal of Nanoscience and Nanotechnology
(Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻:
17
号:
1
ページ:
524-529
発行年:
2017年01月
JST資料番号:
W1351A
ISSN:
1533-4880
CODEN:
JNNOAR
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)