文献
J-GLOBAL ID:201702227248481350
整理番号:17A0083508
位相検索と確定的アプローチの組み合わせによるマスク欠陥の精密な特性付け
Accurate characterization of mask defects by combination of phase retrieval and deterministic approach
著者 (6件):
PARK Min-Chul
(Korea Univ. Sci. and Technol., Seoul, KOR)
,
PARK Min-Chul
(Korea Inst. Sci. and Technol., Seoul, KOR)
,
LEPORTIER Thibault
(Korea Univ. Sci. and Technol., Seoul, KOR)
,
LEPORTIER Thibault
(Korea Inst. Sci. and Technol., Seoul, KOR)
,
KIM Wooshik
(Sejong Univ., Seoul, KOR)
,
SONG Jindong
(Korea Inst. Sci. and Technol., Seoul, KOR)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
9867
ページ:
986712.1-986712.8
発行年:
2016年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)