文献
J-GLOBAL ID:201702227325312618
整理番号:17A0381609
低圧乾式移送法によるナノ共振器を用いたグラフェンドラム共振器の開発【Powered by NICT】
Development of graphene drum resonator with nanocavity by low-pressure dry transfer technique
著者 (4件):
Ishida Hayato
(Toyohashi University of Technology, Toyohashi, Japan)
,
Iwata Tatsuya
(Toyohashi University of Technology, Toyohashi, Japan)
,
Sawada Kazuaki
(Toyohashi University of Technology, Toyohashi, Japan)
,
Takahashi Kazuhiro
(Toyohashi University of Technology, Toyohashi, Japan)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
MEMS
ページ:
928-931
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)