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文献
J-GLOBAL ID：201702227504037952
整理番号：17A0033253
スパッタ法で作製されたMoS2薄膜のRHEEDと光電子分光による評価
米田允俊
(奈良先端科学技術大学院大)
,
武田さくら
(奈良先端科学技術大学院大)
,
田口宗孝
(奈良先端科学技術大学院大)
,
松田博之
(奈良先端科学技術大学院大)
,
大橋匠
(東京工大)
,
清水淳一
(東京工大)
,
ANG Artoni Kevin Roquero
(奈良先端科学技術大学院大)
,
橋本由介
(奈良先端科学技術大学院大)
,
深見駿
(奈良先端科学技術大学院大)
,
田中一光
(奈良先端科学技術大学院大)
,
岡本隆志
(奈良先端科学技術大学院大)
,
江波戸達哉
(奈良先端科学技術大学院大)
,
大門寛
(奈良先端科学技術大学院大)
,
若林整
(東京工大)
,
木下豊彦
(高輝度光科学研究セ)
資料名：
真空に関する連合講演会講演予稿集
巻： 57th ページ： 82 発行年： 2016年11月29日
JST資料番号： L1308A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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