文献
J-GLOBAL ID:201702227823878691
整理番号:17A0551427
Ge4H10とSnD4の反応による超低温でのSi/Ge上のシュードモルフィックGe1-ySny(y=0.06-0.17)構造とデバイスの分子エピタクシー
Molecular epitaxy of pseudomorphic Ge1-y Sny (y = 0.06-0.17) structures and devices on Si/Ge at ultra-low temperatures via reactions of Ge4H10 and SnD4
著者 (6件):
WALLACE P M
(Arizona State Univ., AZ, USA)
,
SENARATNE C L
(Arizona State Univ., AZ, USA)
,
XU Chi
(Arizona State Univ., AZ, USA)
,
SIMS P E
(Arizona State Univ., AZ, USA)
,
KOUVETAKIS J
(Arizona State Univ., AZ, USA)
,
MENENDEZ J
(Arizona State Univ., AZ, USA)
資料名:
Semiconductor Science and Technology
(Semiconductor Science and Technology)
巻:
32
号:
2
ページ:
025003,1-10
発行年:
2017年02月
JST資料番号:
E0503B
ISSN:
0268-1242
CODEN:
SSTEET
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)