文献
J-GLOBAL ID:201702227825785484
整理番号:17A0381648
懸濁及びパラジウム被覆シリコンナノワイヤによる超低電力水素センサ【Powered by NICT】
Ultra-low power hydrogen sensor by suspended and palladium coated silicon nanowire
著者 (4件):
Yun Jeonghoon
(Department of Mechanical Engineering, KAIST, Daejeon 305-701, Korea)
,
Ahn Jae-Huyk
(Department of Electronic Engineering, Kwangwoon University, Seoul 01897, Korea)
,
Choi Yang-Kyu
(Department of Electrical Engineering, KAIST, Daejeon 305-701, Korea)
,
Park Inkyu
(Department of Mechanical Engineering, KAIST, Daejeon 305-701, Korea)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
MEMS
ページ:
1079-1082
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)