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文献
J-GLOBAL ID：201702228043396580
整理番号：17A0203766
N_2/Ar放電のための大面積容量結合プラズマの均一性に及ぼす誘電材料の影響【Powered by NICT】
Influence of dielectric materials on uniformity of large-area capacitively coupled plasmas for N_2/Ar discharges
Liang Yingshuang
(School of Physics and Optoelectronic Technology, Dalian University of Technology)
,
Zhang Yuru
(School of Physics and Optoelectronic Technology, Dalian University of Technology)
,
Wang Younian
(School of Physics and Optoelectronic Technology, Dalian University of Technology)
資料名：
Chinese Physics B
(Chinese Physics B)
巻： 25 号： 10 ページ： 105206-1-105206-8 発行年： 2016年
JST資料番号： W1539A ISSN： 1674-1056 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 中国 (CHN) 言語： 英語 (EN)
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