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文献
J-GLOBAL ID：201702228059841498
整理番号：17A1482913
Kaufmanイオンビーム源による[001]優先配向したチタン薄膜の応力フリー蒸着【Powered by NICT】
Stress-free deposition of [001] preferentially oriented titanium thin film by Kaufman ion-beam source
Gablech Imrich
(Central European Institute of Technology, Brno University of Technology, Purkynova 123, CZ-61200 Brno, Czech Republic)
,
Gablech Imrich
(Brno University of Technology, Faculty of Electrical Engineering and Communication, Department of Microelectronics, Technicka 3058/10, CZ-61600 Brno, Czech Republic)
,
Caha Ondrej
(Central European Institute of Technology, Masaryk University, Kamenice 753/5, CZ-62500 Brno, Czech Republic)
,
Caha Ondrej
(Masaryk University, Faculty of Science, Department of Condensed Matter Physics, Kotlarska 2, CZ-60200 Brno, Czech Republic)
,
Svatos Vojtech
(Central European Institute of Technology, Brno University of Technology, Purkynova 123, CZ-61200 Brno, Czech Republic)
,
Svatos Vojtech
(Brno University of Technology, Faculty of Electrical Engineering and Communication, Department of Microelectronics, Technicka 3058/10, CZ-61600 Brno, Czech Republic)
,
Pekarek Jan
(Central European Institute of Technology, Brno University of Technology, Purkynova 123, CZ-61200 Brno, Czech Republic)
,
Pekarek Jan
(Brno University of Technology, Faculty of Electrical Engineering and Communication, Department of Microelectronics, Technicka 3058/10, CZ-61600 Brno, Czech Republic)
,
Neuzil Pavel
(Central European Institute of Technology, Brno University of Technology, Purkynova 123, CZ-61200 Brno, Czech Republic)
,
Neuzil Pavel
(Brno University of Technology, Faculty of Electrical Engineering and Communication, Department of Microelectronics, Technicka 3058/10, CZ-61600 Brno, Czech Republic)
,
Neuzil Pavel
(Northwestern Polytechnical University, 127 West Youyi Road, Xi’an, Shaanxi, PR China)
,
Sikola Tomas
(Central European Institute of Technology, Brno University of Technology, Purkynova 123, CZ-61200 Brno, Czech Republic)
,
Sikola Tomas
(Brno University of Technology, Institute of Physical Engineering, Technicka 2896/2, CZ-61669 Brno, Czech Republic)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 638 ページ： 57-62 発行年： 2017年
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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