文献
J-GLOBAL ID:201702228175297723
整理番号:17A0696022
MEMS/NEMS用にスパッタしたアモルファスシリコン膜の研究
The Investigation of Sputtered Amorphous Silicon Films for MEMS and NEMS Applications
著者 (7件):
DU Bo
(Univ. Electronic Sci. and Technol. China, Chengdu, CHN)
,
DU Bo
(26th Inst. China Electronics Technol. Group Corp., Chongqing, CHN)
,
MA Jinyi
(26th Inst. China Electronics Technol. Group Corp., Chongqing, CHN)
,
JIAO Xiangquan
(Univ. Electronic Sci. and Technol. China, Chengdu, CHN)
,
ZHANG Rui
(Univ. Electronic Sci. and Technol. China, Chengdu, CHN)
,
ZHONG Hui
(Univ. Electronic Sci. and Technol. China, Chengdu, CHN)
,
SHI Yu
(Univ. Electronic Sci. and Technol. China, Chengdu, CHN)
資料名:
Journal of Nanoscience and Nanotechnology
(Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻:
16
号:
8
ページ:
8061-8066
発行年:
2016年08月
JST資料番号:
W1351A
ISSN:
1533-4880
CODEN:
JNNOAR
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)