文献
J-GLOBAL ID:201702228386270923
整理番号:17A0942506
MEMS加速度計生産技術経路選択【Powered by NICT】
MEMS accelerometers production technological route selection
著者 (4件):
Nevludov Igor
(CITAM Department, Kharkiv National University of Radio Electronics, UKRAINE, Kharkiv, ave. Nauki 14)
,
Yevsieiev Vladyslav
(CITAM Department, Kharkiv National University of Radio Electronics, UKRAINE, Kharkiv, ave. Nauki 14)
,
Bortnikova Viktoriia
(CITAM Department, Kharkiv National University of Radio Electronics, UKRAINE, Kharkiv, ave. Nauki 14)
,
Miliutina Svitlana
(CITAM Department, Kharkiv National University of Radio Electronics, UKRAINE, Kharkiv, ave. Nauki 14)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
CADSM
ページ:
424-427
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)