文献
J-GLOBAL ID:201702228942913498
整理番号:17A1090418
Bossung傾斜へのEUV SRAFの影響
Impact of EUV SRAF on Bossung Tilt
著者 (7件):
WANG Yow-Gwo
(Univ. California, CA, USA)
,
WANG Yow-Gwo
(Lawrence Berkeley National Lab., CA, USA)
,
HSU Stephen
(ASML Brion, CA, USA)
,
SOCHA Robert
(ASML Brion, CA, USA)
,
NEUREUTHER Andy
(Univ. California, CA, USA)
,
NEUREUTHER Andy
(Lawrence Berkeley National Lab., CA, USA)
,
NAULLEAU Patrick
(Lawrence Berkeley National Lab., CA, USA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
10143
ページ:
1014320.1-1014320.7
発行年:
2017年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)