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文献
J-GLOBAL ID：201702229349750438
整理番号：17A1090625
物理学及びベイジアン統計を用いてプラズマエッチレシピの作成を加速する方法
A method to accelerate creation of plasma etch recipes using physics and Bayesian statistics
CHOPRA Meghali J.
(Univ. Texas at Austin, TX)
,
VERMA Rahul
(Univ. Texas at Austin, TX)
,
LANE Austin
(Univ. Texas at Austin, TX)
,
WILLSON C. G.
(Univ. Texas at Austin, TX)
,
BONNECAZE Roger T.
(Univ. Texas at Austin, TX)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 10149 ページ： 101490X.1-101490X.8 発行年： 2017年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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