文献
J-GLOBAL ID:201702229353606041
整理番号:17A0590373
Al+サブプランテーションによる単相岩塩構造VAlN膜の前例のないAl過飽和
Unprecedented Al supersaturation in single-phase rock salt structure VAlN films by Al+ subplantation
著者 (7件):
Greczynski G.
(Thin Film Physics Division, Department of Physics (IFM), Linkoping University, SE-581 83 Linkoping, Sweden)
,
Mraz S.
(Materials Chemistry, RWTH Aachen University, Kopernikusstr. 10, D-52074 Aachen, Germany)
,
Hans M.
(Materials Chemistry, RWTH Aachen University, Kopernikusstr. 10, D-52074 Aachen, Germany)
,
Primetzhofer D.
(Department of Physics and Astronomy, The Ångstrom Laboratory, Uppsala University, P.O. Box 516, SE-75120 Uppsala, Sweden)
,
Lu J.
(Thin Film Physics Division, Department of Physics (IFM), Linkoping University, SE-581 83 Linkoping, Sweden)
,
Hultman L.
(Thin Film Physics Division, Department of Physics (IFM), Linkoping University, SE-581 83 Linkoping, Sweden)
,
Schneider J. M.
(Materials Chemistry, RWTH Aachen University, Kopernikusstr. 10, D-52074 Aachen, Germany)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
121
号:
17
ページ:
171907-171907-9
発行年:
2017年05月07日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)