文献
J-GLOBAL ID:201702229579298216
整理番号:17A0656834
Ar/CF4及びAr/CF3I容量結合プラズマの真空紫外発光の比較
Comparison of vacuum ultra-violet emission of Ar/CF4 and Ar/CF3I capacitively coupled plasmas
著者 (11件):
ZOTOVICH A
(Lomonosov Moscow State Univ., RUS)
,
ZOTOVICH A
(IMEC, Leuven, BEL)
,
ZOTOVICH A
(Katholieke Universiteit Leuven, BEL)
,
PROSHINA O
(Lomonosov Moscow State Univ., RUS)
,
EL OTELL Z
(IMEC, Leuven, BEL)
,
EL OTELL Z
(Katholieke Universiteit Leuven, BEL)
,
LOPAEV D
(Lomonosov Moscow State Univ., RUS)
,
RAKHIMOVA T
(Lomonosov Moscow State Univ., RUS)
,
RAKHIMOV A
(Lomonosov Moscow State Univ., RUS)
,
DE MARNEFFE J-F
(IMEC, Leuven, BEL)
,
BAKLANOV M R
(IMEC, Leuven, BEL)
資料名:
Plasma Sources Science and Technology
(Plasma Sources Science and Technology)
巻:
25
号:
5
ページ:
055001,1-10
発行年:
2016年10月
JST資料番号:
W0479A
ISSN:
0963-0252
CODEN:
PSTEEU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)