文献
J-GLOBAL ID:201702229827296855
整理番号:17A0463116
膜スタック特性のOPCモデリングに関するBayes分析及び事後予測チェッキング
Bayesian Analysis for OPC Modeling with Film Stack Properties and Posterior Predictive Checking
著者 (4件):
BURBINE Andrew
(Mentor Graphics Corp., OR)
,
FENGER Germain
(Mentor Graphics Corp., OR)
,
STURTEVANT John
(Mentor Graphics Corp., OR)
,
FRYER David
(Mentor Graphics Corp., OR)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
10032
ページ:
100320N.1-100320N.5
発行年:
2016年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)