文献
J-GLOBAL ID:201702229840952861
整理番号:17A1907765
透過性パルスレーザ照射により形成されたSi中のボイドの電子顕微鏡法
Electron microscopy of voids in Si formed by permeable pulse laser irradiation
著者 (3件):
IWATA Hiroyuki
(Aichi Inst. Technol., Toyota, JPN)
,
KAWAGUCHI Daisuke
(Hamamatsu Photonics K.K., Iwata, JPN)
,
SAKA Hiroyasu
(Aichi Inst. Technol., Toyota, JPN)
資料名:
Microscopy
(Microscopy)
巻:
66
号:
5
ページ:
328-336
発行年:
2017年10月
JST資料番号:
W1384A
ISSN:
2050-5698
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)