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文献
J-GLOBAL ID：201702229910502302
整理番号：17A1241393
回転ターゲットと平面ターゲットによるスパッタ金属膜の耐食性に関する研究【Powered by NICT】
Research on corrosion resistance of metal films sputtered by rotating target and planar target
Ma Weijie
(BOE Technology Group Co. Ltd, Hefei, Anhui, 230012, China)
,
Hu Haifeng
(BOE Technology Group Co. Ltd, Hefei, Anhui, 230012, China)
,
Ding Xianlin
(BOE Technology Group Co. Ltd, Hefei, Anhui, 230012, China)
,
Chen Qicheng
(BOE Technology Group Co. Ltd, Hefei, Anhui, 230012, China)
,
Zhang Ming
(BOE Technology Group Co. Ltd, Hefei, Anhui, 230012, China)
,
Guo Zongjie
(BOE Technology Group Co. Ltd, Hefei, Anhui, 230012, China)
,
Shao Xibin
(BOE Technology Group Co. Ltd, Hefei, Anhui, 230012, China)
資料名：
Journal of the Society for Information Display
(Journal of the Society for Information Display)
巻： 25 号： 6 ページ： 391-396 発行年： 2017年
JST資料番号： B0996B ISSN： 1071-0922 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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