文献
J-GLOBAL ID:201702229934830298
整理番号:17A1917203
後処理ASMC0.35μm CMOSチップによるマイクロミラーアレイのCMOS-MEMS【Powered by NICT】
CMOS-MEMS Micro-Mirror Arrays by Post-Processing ASMC 0.35- $¥mu ¥text{m}$ CMOS Chips
著者 (2件):
Cheng Zhengxi
(Research Center for Advanced Science and Technology, University of Tokyo, Tokyo, Japan)
,
Toshiyoshi Hiroshi
(Research Center for Advanced Science and Technology, Institute of Industrial Science, University of Tokyo, Tokyo, Japan)
資料名:
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻:
26
号:
6
ページ:
1435-1441
発行年:
2017年
JST資料番号:
W0357A
ISSN:
1057-7157
CODEN:
JMIYET
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)