前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201702229995777714
整理番号：17A1276911
圧電MEMSシリコン片持梁の弾性係数に及ぼす表面キャリア濃度の効果【Powered by NICT】
Surface carrier concentration effect on elastic modulus of piezoelectric MEMS silicon cantilevers
Lin Ji-Tzuoh
(University of Louisville, Louisville, Kentucky, USA)
,
Shuvra Pranoy D.
(University of Louisville, Louisville, Kentucky, USA)
,
Liao Wenjun
(Vanderbilt University, Nashville, Tennessee, USA)
,
McNamara Shawns
(University of Louisville, Louisville, Kentucky, USA)
,
Walsh Kevin M.
(University of Louisville, Louisville, Kentucky, USA)
,
Arutt Charlie N.
(Vanderbilt University, Nashville, Tennessee, USA)
,
Gong Huiqi
(Vanderbilt University, Nashville, Tennessee, USA)
,
Davison Jim L.
(Vanderbilt University, Nashville, Tennessee, USA)
,
Alles Michael L.
(Vanderbilt University, Nashville, Tennessee, USA)
,
Alphenaar Bruce W.
(University of Louisville, Louisville, Kentucky, USA)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： TRANSDUCERS ページ： 1175-1178 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。