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文献
J-GLOBAL ID：201702230057607894
整理番号：17A1570347
ウエハダイシングにより作製したシリコン電界エミッタアレイ【Powered by NICT】
Silicon field emitter arrays produced via wafer dicing
Kusch Alexander
(Institute of Micro Production Technology, Leibniz Universitaet Hannover, Hannover, Germany)
,
Wurz Marc
(Institute of Micro Production Technology, Leibniz Universitaet Hannover, Hannover, Germany)
,
Bunert Erik
(Institute of Electrical Engineering and Measurement Technology, Leibniz Universitaet Hannover, Hannover, Germany)
,
Zimmermann Stefan
(Institute of Electrical Engineering and Measurement Technology, Leibniz Universitaet Hannover, Hannover, Germany)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： IVNC ページ： 132-133 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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