文献
J-GLOBAL ID:201702230189022212
整理番号:17A0381562
時間付き光子計数管におけるMEMS透過ダイノードとしての超薄A LD MgO膜【Powered by NICT】
Ultra-thin ALD MGO membranes as mems transmission dynodes in a timed photon counter
著者 (6件):
Prodanovic Violeta
(Delft University of Technology, Else Kooi Laboratory, The Netherlands)
,
Chan Hong Wah
(Delft University of Technology, Else Kooi Laboratory, The Netherlands)
,
Mane Anil U.
(Argonne National Laboratory, Argonne, USA)
,
Elam Jeffrey W.
(Argonne National Laboratory, Argonne, USA)
,
Graaf Harry V. D.
(Delft University of Technology, Else Kooi Laboratory, The Netherlands)
,
Sarro Pasqualina M.
(Delft University of Technology, Else Kooi Laboratory, The Netherlands)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
MEMS
ページ:
740-743
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)