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文献
J-GLOBAL ID：201702230351087621
整理番号：17A1036894
直接ガラスへの結合のための新しい逐次プラズマ活性化法【Powered by NICT】
Novel sequential plasma activation method for direct glass bonding
He Ran
(School of Engineering, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan)
,
Yamauchi Akira
(Bondtech Co., Ltd., 77 Ishiharanisimachi, Kisshoin, Minami-ku, Kyoto 601-8366, Japan)
,
Suga Tadatomo
(School of Engineering, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： LTB-3D ページ： 22 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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