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文献
J-GLOBAL ID：201702230612482851
整理番号：17A1457626
リモートプラズマ反応性スパッタリングにより堆積した種々のSn組成を有するZnO:Sn薄膜の分光偏光解析法による評価【Powered by NICT】
Spectroscopic ellipsometry characterization of ZnO:Sn thin films with various Sn composition deposited by remote-plasma reactive sputtering
Janicek Petr
(Faculty of Chemical Technology, Institute of Applied Physics and Mathematics, University of Pardubice, Studentska 95, 53210 Pardubice, Czechia)
,
Janicek Petr
(Faculty of Chemical Technology, Center of Materials and Nanotechnologies, University of Pardubice, nam. Cs. legii 565, 530 02 Pardubice, Czechia)
,
Niang Kham M.
(Electrical Engineering Division, Cambridge University, 9 J J Thomson Avenue, Cambridge CB3 0FA, UK)
,
Mistrik Jan
(Faculty of Chemical Technology, Institute of Applied Physics and Mathematics, University of Pardubice, Studentska 95, 53210 Pardubice, Czechia)
,
Mistrik Jan
(Faculty of Chemical Technology, Center of Materials and Nanotechnologies, University of Pardubice, nam. Cs. legii 565, 530 02 Pardubice, Czechia)
,
Palka Karel
(Faculty of Chemical Technology, Department of General and Inorganic Chemistry, University of Pardubice, Studentska 95, 53210 Pardubice, Czechia)
,
Palka Karel
(Faculty of Chemical Technology, Center of Materials and Nanotechnologies, University of Pardubice, nam. Cs. legii 565, 530 02 Pardubice, Czechia)
,
Flewitt Andrew J.
(Electrical Engineering Division, Cambridge University, 9 J J Thomson Avenue, Cambridge CB3 0FA, UK)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 421 号： PB ページ： 557-564 発行年： 2017年
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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