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文献
J-GLOBAL ID：201702230984805111
整理番号：17A1490433
熱的に駆動されたV字型MEMSアクチュエータのマクロモデリング【Powered by NICT】
Macromodeling of thermally driven V-shaped MEMS actuators
Vamegh Estahbanati Shahabeddin
(American University of Sharjah, P.O. Box 26666, Sharjah, United Arab Emirates)
,
Dhaouadi Rached
(American University of Sharjah, P.O. Box 26666, Sharjah, United Arab Emirates)
,
Bakri-Kassem Maher
(American University of Sharjah, P.O. Box 26666, Sharjah, United Arab Emirates)
資料名：
Mechatronics
(Mechatronics)
巻： 46 ページ： 193-204 発行年： 2017年
JST資料番号： W0098A ISSN： 0957-4158 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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