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文献
J-GLOBAL ID：201702230993334327
整理番号：17A1637475
パッケージFAのための新しい試料調製及び高分解能X線トモグラフィー【Powered by NICT】
Novel sample preparation and high-resolution X-ray tomography for package FA
Schmidt Christian
(Process Control Solutions, ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology, 4385 Hopyard Rd, Pleasanton, 94588, USA)
,
Kelly Stephen T.
(Process Control Solutions, ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology, 4385 Hopyard Rd, Pleasanton, 94588, USA)
,
Wang Ying
(Gatan, Inc., 5794 W Las Positas Blvd, Pleasanton, 94588, USA)
,
Coyle S. T.
(Gatan, Inc., 5794 W Las Positas Blvd, Pleasanton, 94588, USA)
,
Shearer Michael Hassel
(Gatan, Inc., 5794 W Las Positas Blvd, Pleasanton, 94588, USA)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： IPFA ページ： 1-4 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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