文献
J-GLOBAL ID:201702231045040213
整理番号:17A1732270
ゲートオールアラウンドナノワイヤFET中に埋め込まれたナノワイヤの光熱音響イメージングの実現可能性研究【Powered by NICT】
Feasibility study of photo thermal acoustic imaging of buried nanowires in Gate-All-Around Nanowire FETs
著者 (5件):
van Neer P.L.M.J.
(Department of Acoustics and Sonar, TNO, the Hague, the Netherlands)
,
Piras D.
(Department of Optomechatronics, TNO, Delft, the Netherlands)
,
Koek W.
(Department of Optics, TNO, Delft, The Netherlands)
,
van Zwet E.
(Department of Optomechatronics, TNO, Delft, the Netherlands)
,
Sadeghian H.
(Department of Optomechatronics, TNO, Delft, the Netherlands)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
IUS
ページ:
1-4
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)