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文献
J-GLOBAL ID：201702231067435336
整理番号：17A0400512
MEMS加速度計の衝撃保護構造における接着層の評価とモデリング【Powered by NICT】
Evaluation and modeling of adhesion layer in shock-protection structure for MEMS accelerometer
Yamane Daisuke
(Tokyo Institute of Technology, Yokohama, Kanagawa 226-8503, Japan)
,
Konishi Toshifumi
(The University of Tokyo, Meguro, Tokyo 153-8904, Japan)
,
Safu Teruaki
(The University of Tokyo, Meguro, Tokyo 153-8904, Japan)
,
Toshiyoshi Hiroshi
(The University of Tokyo, Meguro, Tokyo 153-8904, Japan)
,
Sone Masato
(Tokyo Institute of Technology, Yokohama, Kanagawa 226-8503, Japan)
,
Masu Kazuya
(Tokyo Institute of Technology, Yokohama, Kanagawa 226-8503, Japan)
,
Machida Katsuyuki
(Tokyo Institute of Technology, Yokohama, Kanagawa 226-8503, Japan)
,
Machida Katsuyuki
(NTT Advanced Technology Corporation, Atsugi, Kanagawa 243-0124, Japan)
資料名：
Microelectronics Reliability
(Microelectronics Reliability)
巻： 66 ページ： 78-84 発行年： 2016年
JST資料番号： C0530A ISSN： 0026-2714 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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