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文献
J-GLOBAL ID：201702231101353046
整理番号：17A0365297
Ti Cu Zr Ni Hf Si薄膜金属ガラスの機械的及び熱的性質に及ぼす非平衡マグネトロンスパッタリングによるArイオン衝撃の影響【Powered by NICT】
Effects of Ar ion bombardment by unbalanced magnetron sputtering on mechanical and thermal properties of Ti-Cu-Zr-Ni-Hf-Si thin film metallic glass
Kobata Junpei
(Metal Finishing and Analysis Section, Technology Research Institute of Osaka Prefecture, 2-7-1, Ayumino, Izumi City, Osaka 594-1157, Japan)
,
Miura Ken-ichi
(Metal Finishing and Analysis Section, Technology Research Institute of Osaka Prefecture, 2-7-1, Ayumino, Izumi City, Osaka 594-1157, Japan)
資料名：
Materials & Design
(Materials & Design)
巻： 111 ページ： 271-278 発行年： 2016年
JST資料番号： A0495B ISSN： 0264-1275 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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