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文献
J-GLOBAL ID：201702231119079739
整理番号：17A1550613
RFスパッタリングにより蒸着したZnS薄膜の物理的性質の研究【Powered by NICT】
Study of the physical properties of ZnS thin films deposited by RF sputtering
Le Donne A.
(Dept. of Materials Science and Solar Energy Research Center (MIBSOLAR), University of Milano-Bicocca, Via Cozzi 55, 20125 Milan, Italy)
,
Cavalcoli D.
(Dept. of Physics and Astronomy, University of Bologna, V.le Berti Pichat 6/2, 40127 Bologna, Italy)
,
Mereu R.A.
(Dept. of Materials Science and Solar Energy Research Center (MIBSOLAR), University of Milano-Bicocca, Via Cozzi 55, 20125 Milan, Italy)
,
Perani M.
(Dept. of Physics and Astronomy, University of Bologna, V.le Berti Pichat 6/2, 40127 Bologna, Italy)
,
Pagani L.
(Dept. of Materials Science and Solar Energy Research Center (MIBSOLAR), University of Milano-Bicocca, Via Cozzi 55, 20125 Milan, Italy)
,
Acciarri M.
(Dept. of Materials Science and Solar Energy Research Center (MIBSOLAR), University of Milano-Bicocca, Via Cozzi 55, 20125 Milan, Italy)
,
Binetti S.
(Dept. of Materials Science and Solar Energy Research Center (MIBSOLAR), University of Milano-Bicocca, Via Cozzi 55, 20125 Milan, Italy)
資料名：
Materials Science in Semiconductor Processing
(Materials Science in Semiconductor Processing)
巻： 71 ページ： 7-11 発行年： 2017年
JST資料番号： W1055A ISSN： 1369-8001 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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