文献
J-GLOBAL ID:201702231291754899
整理番号:17A1767448
表示装置プロセス用の大容量,容量結合プラズマ放電の二次元流体シミュレーション
Two-Dimensional Fluid Simulation of Large-Scale, Capacitively-Coupled Plasma Discharge for Display Device Processes
著者 (8件):
JEONG YoungDo
(Korea Aerospace Univ., Goyang, KOR)
,
LEE Young Jun
(Korea Aerospace Univ., Goyang, KOR)
,
KWON Deuk-Chul
(National Fusion Res. Inst., Gunsan, KOR)
,
LEE Sang-Jin
(SungKyunKwan Univ., Suwon, KOR)
,
JEON Jae-Hong
(Korea Aerospace Univ., Goyang, KOR)
,
SEO Jong Hyun
(Korea Aerospace Univ., Goyang, KOR)
,
TONG Lizhu
(Keisoku Engineering System Co., Ltd., Tokyo, JPN)
,
CHOE HeeHwan
(Korea Aerospace Univ., Goyang, KOR)
資料名:
Journal of Nanoscience and Nanotechnology
(Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻:
17
号:
11
ページ:
8411-8417
発行年:
2017年11月
JST資料番号:
W1351A
ISSN:
1533-4880
CODEN:
JNNOAR
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)