文献
J-GLOBAL ID:201702231389010908
整理番号:17A0289858
複素OPCパターンのCDSEM2D測定を用いたCD制御改良
The CD Control Improvement by Using CDSEM 2D Measurement of Complex OPC Patterns
著者 (12件):
CHOU William
(United Microelectronics Corp.)
,
CHENG Jeffrey
(United Microelectronics Corp.)
,
LEE Adder
(United Microelectronics Corp.)
,
CHENG James
(United Microelectronics Corp.)
,
TZENG Alex CP
(United Microelectronics Corp.)
,
LU Colbert
(Photronics DNP Mask Corp.)
,
YANG Ray
(Photronics DNP Mask Corp.)
,
LEE Hong Jen
(Photronics DNP Mask Corp.)
,
BANDOH Hideaki
(Holon Corp., Ltd.)
,
SANTO Izumi
(Holon Corp., Ltd.)
,
ZHANG Hao
(Holon Corp., Ltd.)
,
CHEN Chien Kang
(Lim Chemical Corp., Ltd.)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
9985
ページ:
99851M.1-99851M.9
発行年:
2016年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)