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文献
J-GLOBAL ID：201702231440875949
整理番号：17A0864772
微細構造を利用したサブマイクロメートル印刷技術の開発
穂苅遼平
(産業技術総合研)
,
栗原一真
(産業技術総合研)
,
高田尚樹
(産業技術総合研)
,
廣島洋
(産業技術総合研)
資料名：
日本機械学会関東支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM)
巻： 23rd ページ： ROMBUNNO.OS1302-04 発行年： 2017年03月15日
JST資料番号： L3954B ISSN： 2424-2691 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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