文献
J-GLOBAL ID:201702231560934809
整理番号:17A1033510
Tenso起電力効果に基づくMEMS圧力変換器における熱応力の診断【Powered by NICT】
Diagnostics of thermal stress in MEMS pressure transducer based on Tenso-e.m.f. effect
著者 (3件):
Mikhailenko Igor
(Department of Microelectronics, National Technical University of Ukraine, “Igor Sikorsky Kyiv Polytechnic Institute”, Kyiv, Ukraine)
,
Orlov Anatolii
(Department of Microelectronics, National Technical University of Ukraine, “Igor Sikorsky Kyiv Polytechnic Institute”, Kyiv, Ukraine)
,
Serdega Boris
(Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, National Academy of Sciences of Ukraine, Kyiv, Ukraine)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
ELNANO
ページ:
201-204
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)